深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9106-MO23DB 產(chǎn)品特點如下：

日本MEG對齊單元X9106-MO23DB用于半導(dǎo)體設(shè)備、液晶面板制造、精密組裝線等需要亞微米級定位的場景，高精度對齊單元,專注于高精度工業(yè)自動化組件，如對齊單元、傳感器和定位系統(tǒng).

可靈活應(yīng)對多品種工件的長沖程和高速定位所需的長壽命對準(zhǔn)單元，在半導(dǎo)體及電子零件行業(yè)中被用于工件定位，取得了很多實績。穩(wěn)定的定位性能以緊湊但長行程重復(fù)精度高的凸輪為基礎(chǔ)，鉚釘采用無背襯機(jī)構(gòu)，緩沖器具有彈簧中央緩沖器功能，可穩(wěn)定定位050的身體內(nèi)收納4個無限軌道型線性導(dǎo)軌，并且到極限省略浪費6mm的長沖程成為可能。

適用于從微芯片到帶端子芯片的廣泛用途，無沖擊工作通過使用長壽命凸輪曲線變形等速度曲線的凸輪和步進(jìn)電機(jī)的加減速控制，即使在高速情況下也能實現(xiàn)柔和的定位，無限軌道線性導(dǎo)軌的靈活操作和凸輪的簡單機(jī)制確保了長期的初始位置精度，α STEP馬達(dá)的追加外部驅(qū)動采用實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP DC電源類型。

因為是用步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動，所以指甲的進(jìn)給量可以根據(jù)工件進(jìn)行設(shè)定，手指導(dǎo)軌采用預(yù)壓的線性導(dǎo)軌，實現(xiàn)了高的重復(fù)精度，可以利用馬達(dá)后部的旋轉(zhuǎn)軸安裝原點傳感器和限位傳感器，也可以方便地作為機(jī)械調(diào)整時的手動手柄使用，帶馬達(dá)的型號有2相馬達(dá)和α STEP馬達(dá)兩種可選，相馬達(dá)已更新，可以設(shè)置高分辨率。

核心功能

1.精密定位：

通過內(nèi)置高分辨率傳感器（如激光或光學(xué)編碼器）實現(xiàn)微米級（μm）或納米級（nm）的位置對齊。

適用于晶圓、面板、精密零件的對準(zhǔn)與校正。

2.多軸控制：

支持X/Y/Z軸或θ（旋轉(zhuǎn)軸）的多自由度調(diào)整，集成運(yùn)動控制算法。

3.自動化集成：

兼容PLC、工業(yè)機(jī)器人或上位機(jī)系統(tǒng)，支持標(biāo)準(zhǔn)通信協(xié)議（如EtherCAT、RS-485等）。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體封裝：晶圓與掩模版的對齊。

FPD制造：液晶面板的精準(zhǔn)貼合。

精密檢測：配合顯微鏡或CCD進(jìn)行自動對焦定位。

優(yōu)勢

高剛性設(shè)計：減少振動帶來的誤差。

快速響應(yīng)：優(yōu)化算法提升對齊速度。

模塊化：可擴(kuò)展為多單元協(xié)同工作。

技術(shù)參數(shù)

精度：±0.1 μm 或更高

重復(fù)定位精度：±0.05 μm

負(fù)載能力：1-5 kg（依賴機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計）

傳感器類型：光學(xué)編碼器/激光干涉儀

環(huán)境適應(yīng)性：防塵、防振動設(shè)計，適合潔凈室使用。

規(guī)格

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